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等离子光氧一体机是采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
? ? 等离子光氧一体机处理工业废气净化效果好，光氧一体机是一种吸附光氧废气净化器，包括箱体，所述的箱体一端开设有进风口，所述的箱体内位于进风口处设有初效过滤层，所述的初效过滤层的上方设有若干紫外光发射管，所述的紫外光发射管之间设有若干吸附式活性碳纤维层，所述的相邻吸附式活性碳纤维层之间设有光催化反应层，所述的箱体的另一端设有出风口，所述的箱体内位于靠近出风口处设有微波发射器，所述的箱体外壁上设有控制器。本实用新型的设备净化效率可以提高60％以上，催化反应速率提高1/3，而且设备运行维护方便，运行费用低，效果稳定。
? ? 光氧催化一体机技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性技术，该技术显著特点是对污染物兼具物理效应、化学效应和生物效应，且有能耗低、效率高、无二次污染等明显优点。